龍門實(shí)驗(yàn)室：讓創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈“無(wú)縫對(duì)接”|十大戰(zhàn)略進(jìn)行時(shí)
更新時(shí)間：2023-4-17 20:48:28 來(lái)源：河南日?qǐng)?bào)
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時(shí)政要聞
省實(shí)驗(yàn)室是全省科技創(chuàng)新體系的重要組成部分，是國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的預(yù)備隊(duì)和河南省各類創(chuàng)新基地的先鋒隊(duì)。龍門實(shí)驗(yàn)室成立一年來(lái)，建立“企業(yè)出題+實(shí)驗(yàn)室答題”的創(chuàng)新模式，力推創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈“無(wú)縫對(duì)接”。效果如何呢？
洛陽(yáng)中硅高科有限公司研發(fā)中心研發(fā)主管 先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝：硅的純度我們要達(dá)到11個(gè)“9”，如果有金屬雜質(zhì)的話，它對(duì)下游的燒制壽命、拉晶、晶體應(yīng)用的話會(huì)有一定的影響...
11個(gè)“9”是什么？是電子級(jí)多晶硅的純度；下游在哪兒？在單晶硅生產(chǎn)企業(yè)；單晶硅的下游應(yīng)用就是芯片了。作為芯片制造的關(guān)鍵原材料，電子級(jí)多晶硅也是龍門實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合上下游企業(yè)闖關(guān)的重點(diǎn)。
龍門實(shí)驗(yàn)室智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任 潘昆明：電子級(jí)多晶硅，它的純度達(dá)到99.999999999%,就11個(gè)9，它這個(gè)難度、這個(gè)純度要求是非常非常高的。在這個(gè)項(xiàng)目之初，像電子級(jí)多晶硅原材料主要是從美國(guó)、德國(guó)、日本、主要是進(jìn)口，這樣的話我們就受制于人。
作為生產(chǎn)多晶硅的龍頭企業(yè)，中硅高科從2015年至今都在進(jìn)行科研攻關(guān)，走了7年的彎路，一直卡在多晶硅原材料氫氣和三氯氫硅的提純上，產(chǎn)品質(zhì)量也不穩(wěn)定。
洛陽(yáng)中硅高科有限公司研發(fā)中心研發(fā)主管 先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝：對(duì)于半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)的話，我們大概有110多道工序做成芯片，它這個(gè)驗(yàn)證周期也比較長(zhǎng)，至少在一年到一年半的時(shí)間。這樣整體上包括一個(gè)浪費(fèi)和一個(gè)質(zhì)量的不可控，所以說(shuō)我們一定要在原材料這邊要絕對(duì)的穩(wěn)定，在前端是非常非常關(guān)鍵的。
去年三月，龍門實(shí)驗(yàn)室的誕生給企業(yè)帶來(lái)了希望。龍門實(shí)驗(yàn)室成立了五大科創(chuàng)中心，集中從中硅高科、中信重工等重點(diǎn)企業(yè)，搜集挖掘了產(chǎn)業(yè)“卡脖子”需求80項(xiàng)、關(guān)鍵技術(shù)“堵點(diǎn)”780個(gè)，按照“成熟一項(xiàng)，啟動(dòng)一項(xiàng)”的原則，僅僅一個(gè)月就開啟了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等重大項(xiàng)目課題。
龍門實(shí)驗(yàn)室“先進(jìn)硅基光電功能材料”項(xiàng)目聯(lián)絡(luò)員 任永鵬：我是這個(gè)課題的聯(lián)絡(luò)員，我作為一個(gè)紐帶，我既有中硅高科的出入證，我也是龍門實(shí)驗(yàn)室的人員。然后我們模擬它的熱力學(xué)和反應(yīng)動(dòng)力學(xué)，在計(jì)算機(jī)中可以很低成本、很快速度地去模擬這個(gè)實(shí)驗(yàn)，然后就不需要反反復(fù)復(fù)花大量成本、人力物力去做這個(gè)實(shí)驗(yàn)，直接就推進(jìn)我們這個(gè)實(shí)驗(yàn)的進(jìn)度。
洛陽(yáng)中硅高科先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝：我們?cè)趯?shí)際操作上面可能是更熟悉一些，但是對(duì)理論知識(shí)、基礎(chǔ)知識(shí)的一些研究和研發(fā)的話還不足，所以說(shuō)剛好的話彌補(bǔ)我們的短板。
人才共用、優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，龍門實(shí)驗(yàn)室36人的博士團(tuán)隊(duì)對(duì)多晶硅原材料純化等進(jìn)行了一次又一次的模擬實(shí)驗(yàn)，終于，去年10月，原料提純難題被攻克。目前，正在為年產(chǎn)300噸電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化示范線投產(chǎn)做準(zhǔn)備。
洛陽(yáng)中硅高科有限公司研發(fā)中心高級(jí)研發(fā)工程師 袁振軍：我們生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的成本直接降低了30%，現(xiàn)在我們這個(gè)產(chǎn)品，其中的關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到了一個(gè)國(guó)際領(lǐng)先的水平，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代。
解決了上游多晶硅的問題，龍門實(shí)驗(yàn)室繼續(xù)往下游單晶硅攻關(guān)。之前，麥斯克公司一直被超低阻重?fù)缴楹土椎墓杵邪l(fā)卡著脖子，這種單晶硅片廣泛應(yīng)用于集成電路和高端功率器件中，市場(chǎng)需求量很大，但要求也高。
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：摻雜難度是非常大的，摻入的雜質(zhì)元素一多，就長(zhǎng)不成單晶這種情況。
記者：等于龍門實(shí)驗(yàn)室加進(jìn)來(lái)一下子就解決了？
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：對(duì)對(duì)對(duì)對(duì)，一下子豁然開朗，我們有實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，而他們?cè)跓釄?chǎng)和優(yōu)化上，通過它的模擬仿真軟件計(jì)算，所以雙方配合確實(shí)取得了一個(gè)很大的進(jìn)展。
記者：那帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益呢？
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：我們已經(jīng)有產(chǎn)出了，非常不愁銷路，（假如）常規(guī)的產(chǎn)品一片賣100塊，它呢在150塊以上，國(guó)內(nèi)還沒有批量供應(yīng)市場(chǎng)的企業(yè)。
記者：我們算第一家。
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：我們是第一家，對(duì)。
借助“企業(yè)出題+實(shí)驗(yàn)室答題”的創(chuàng)新模式，龍門實(shí)驗(yàn)室不斷取得新成果： “油莎豆高效聯(lián)合收獲機(jī)”和“果園智能除草機(jī)器人”已經(jīng)通過國(guó)家農(nóng)機(jī)具質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心專家的現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)測(cè)試，即將量產(chǎn)；“無(wú)人植物工廠成套智能作業(yè)機(jī)器人及管控系統(tǒng)”、“新能源客車高效動(dòng)力系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”等項(xiàng)目正按節(jié)點(diǎn)穩(wěn)步推進(jìn)。
龍門實(shí)驗(yàn)室副主任 馬明星：我們項(xiàng)目的立項(xiàng)和遴選機(jī)制，一定要是企業(yè)出題，然后摸清楚產(chǎn)業(yè)的需求，雙方共同來(lái)確定到底我們的風(fēng)口產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目的整個(gè)的研發(fā)方向是什么，保證我們不會(huì)為了研究而研究，真正地把整個(gè)的科技創(chuàng)新落實(shí)到產(chǎn)業(yè)上，能在它的延鏈補(bǔ)鏈或者整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈高端化這一塊能做出來(lái)一些實(shí)實(shí)在在的貢獻(xiàn)。
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省實(shí)驗(yàn)室是全省科技創(chuàng)新體系的重要組成部分，是國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的預(yù)備隊(duì)和河南省各類創(chuàng)新基地的先鋒隊(duì)。龍門實(shí)驗(yàn)室成立一年來(lái)，建立“企業(yè)出題+實(shí)驗(yàn)室答題”的創(chuàng)新模式，力推創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈“無(wú)縫對(duì)接”。效果如何呢？
洛陽(yáng)中硅高科有限公司研發(fā)中心研發(fā)主管 先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝：硅的純度我們要達(dá)到11個(gè)“9”，如果有金屬雜質(zhì)的話，它對(duì)下游的燒制壽命、拉晶、晶體應(yīng)用的話會(huì)有一定的影響...
11個(gè)“9”是什么？是電子級(jí)多晶硅的純度；下游在哪兒？在單晶硅生產(chǎn)企業(yè)；單晶硅的下游應(yīng)用就是芯片了。作為芯片制造的關(guān)鍵原材料，電子級(jí)多晶硅也是龍門實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合上下游企業(yè)闖關(guān)的重點(diǎn)。
龍門實(shí)驗(yàn)室智能裝備先進(jìn)材料科創(chuàng)中心主任 潘昆明：電子級(jí)多晶硅，它的純度達(dá)到99.999999999%,就11個(gè)9，它這個(gè)難度、這個(gè)純度要求是非常非常高的。在這個(gè)項(xiàng)目之初，像電子級(jí)多晶硅原材料主要是從美國(guó)、德國(guó)、日本、主要是進(jìn)口，這樣的話我們就受制于人。
作為生產(chǎn)多晶硅的龍頭企業(yè)，中硅高科從2015年至今都在進(jìn)行科研攻關(guān)，走了7年的彎路，一直卡在多晶硅原材料氫氣和三氯氫硅的提純上，產(chǎn)品質(zhì)量也不穩(wěn)定。
洛陽(yáng)中硅高科有限公司研發(fā)中心研發(fā)主管 先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝：對(duì)于半導(dǎo)體來(lái)說(shuō)的話，我們大概有110多道工序做成芯片，它這個(gè)驗(yàn)證周期也比較長(zhǎng)，至少在一年到一年半的時(shí)間。這樣整體上包括一個(gè)浪費(fèi)和一個(gè)質(zhì)量的不可控，所以說(shuō)我們一定要在原材料這邊要絕對(duì)的穩(wěn)定，在前端是非常非常關(guān)鍵的。
去年三月，龍門實(shí)驗(yàn)室的誕生給企業(yè)帶來(lái)了希望。龍門實(shí)驗(yàn)室成立了五大科創(chuàng)中心，集中從中硅高科、中信重工等重點(diǎn)企業(yè)，搜集挖掘了產(chǎn)業(yè)“卡脖子”需求80項(xiàng)、關(guān)鍵技術(shù)“堵點(diǎn)”780個(gè)，按照“成熟一項(xiàng)，啟動(dòng)一項(xiàng)”的原則，僅僅一個(gè)月就開啟了“先進(jìn)硅基光電功能材料”等重大項(xiàng)目課題。
龍門實(shí)驗(yàn)室“先進(jìn)硅基光電功能材料”項(xiàng)目聯(lián)絡(luò)員 任永鵬：我是這個(gè)課題的聯(lián)絡(luò)員，我作為一個(gè)紐帶，我既有中硅高科的出入證，我也是龍門實(shí)驗(yàn)室的人員。然后我們模擬它的熱力學(xué)和反應(yīng)動(dòng)力學(xué)，在計(jì)算機(jī)中可以很低成本、很快速度地去模擬這個(gè)實(shí)驗(yàn)，然后就不需要反反復(fù)復(fù)花大量成本、人力物力去做這個(gè)實(shí)驗(yàn)，直接就推進(jìn)我們這個(gè)實(shí)驗(yàn)的進(jìn)度。
洛陽(yáng)中硅高科先進(jìn)集成電路晶圓用多晶硅材料課題負(fù)責(zé)人 陳輝：我們?cè)趯?shí)際操作上面可能是更熟悉一些，但是對(duì)理論知識(shí)、基礎(chǔ)知識(shí)的一些研究和研發(fā)的話還不足，所以說(shuō)剛好的話彌補(bǔ)我們的短板。
人才共用、優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，龍門實(shí)驗(yàn)室36人的博士團(tuán)隊(duì)對(duì)多晶硅原材料純化等進(jìn)行了一次又一次的模擬實(shí)驗(yàn)，終于，去年10月，原料提純難題被攻克。目前，正在為年產(chǎn)300噸電子級(jí)多晶硅產(chǎn)業(yè)化示范線投產(chǎn)做準(zhǔn)備。
洛陽(yáng)中硅高科有限公司研發(fā)中心高級(jí)研發(fā)工程師 袁振軍：我們生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅的成本直接降低了30%，現(xiàn)在我們這個(gè)產(chǎn)品，其中的關(guān)鍵指標(biāo)達(dá)到了一個(gè)國(guó)際領(lǐng)先的水平，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代。
解決了上游多晶硅的問題，龍門實(shí)驗(yàn)室繼續(xù)往下游單晶硅攻關(guān)。之前，麥斯克公司一直被超低阻重?fù)缴楹土椎墓杵邪l(fā)卡著脖子，這種單晶硅片廣泛應(yīng)用于集成電路和高端功率器件中，市場(chǎng)需求量很大，但要求也高。
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：摻雜難度是非常大的，摻入的雜質(zhì)元素一多，就長(zhǎng)不成單晶這種情況。
記者：等于龍門實(shí)驗(yàn)室加進(jìn)來(lái)一下子就解決了？
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：對(duì)對(duì)對(duì)對(duì)，一下子豁然開朗，我們有實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)，而他們?cè)跓釄?chǎng)和優(yōu)化上，通過它的模擬仿真軟件計(jì)算，所以雙方配合確實(shí)取得了一個(gè)很大的進(jìn)展。
記者：那帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益呢？
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：我們已經(jīng)有產(chǎn)出了，非常不愁銷路，（假如）常規(guī)的產(chǎn)品一片賣100塊，它呢在150塊以上，國(guó)內(nèi)還沒有批量供應(yīng)市場(chǎng)的企業(yè)。
記者：我們算第一家。
麥斯克電子材料股份有限公司副總經(jīng)理 胡曉亮：我們是第一家，對(duì)。
借助“企業(yè)出題+實(shí)驗(yàn)室答題”的創(chuàng)新模式，龍門實(shí)驗(yàn)室不斷取得新成果： “油莎豆高效聯(lián)合收獲機(jī)”和“果園智能除草機(jī)器人”已經(jīng)通過國(guó)家農(nóng)機(jī)具質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心專家的現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)測(cè)試，即將量產(chǎn)；“無(wú)人植物工廠成套智能作業(yè)機(jī)器人及管控系統(tǒng)”、“新能源客車高效動(dòng)力系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”等項(xiàng)目正按節(jié)點(diǎn)穩(wěn)步推進(jìn)。
龍門實(shí)驗(yàn)室副主任 馬明星：我們項(xiàng)目的立項(xiàng)和遴選機(jī)制，一定要是企業(yè)出題，然后摸清楚產(chǎn)業(yè)的需求，雙方共同來(lái)確定到底我們的風(fēng)口產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目的整個(gè)的研發(fā)方向是什么，保證我們不會(huì)為了研究而研究，真正地把整個(gè)的科技創(chuàng)新落實(shí)到產(chǎn)業(yè)上，能在它的延鏈補(bǔ)鏈或者整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈高端化這一塊能做出來(lái)一些實(shí)實(shí)在在的貢獻(xiàn)。
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